Специфичне примене средстава за чишћење плазме

Машине за чишћење/јеткање плазмом стварају плазму постављањем две електроде у запечаћену посуду да би се створило електрично поље. Вакум пумпа се користи за одржавање одређеног нивоа вакуума. Како гас постаје све ређи, растојање између молекула и слободно кретање молекула или јона се такође повећава. Под утицајем електричног поља ови јони се сударају и формирају плазму. Ови јони су веома реактивни, са довољно енергије да разбију скоро све хемијске везе, изазивајући хемијске реакције на било којој изложеној површини. Различите гасне плазме имају различите хемијске особине. На пример, кисеоникова плазма је високо оксидирајућа, способна да оксидира фотоотпор да би произвела гас, чиме се постиже ефекат чишћења. Корозивна гасна плазма има одличну анизотропију, која испуњава захтеве јеткања. Третман плазмом производи сјај, отуда и назив сјајно пражњење.
Механизам чишћења плазмом првенствено се ослања на „активацију“ активних честица у плазми за уклањање површинских мрља. У смислу реакционог механизма, чишћење плазмом генерално укључује следећи процес: неоргански гасови се побуђују у стање плазме; гасовите супстанце се адсорбују на чврсту површину; адсорбоване групе реагују са молекулима на чврстој површини да би формирале молекуле производа; молекули производа се разлажу у гасну фазу; а остаци реакције се уклањају са површине.

Најзначајнија карактеристика технологије чишћења плазмом је да може да третира било коју врсту супстрата, укључујући метале, полупроводнике, оксиде и већину полимерних материјала као што су полипропилен, полиестер, полиимид, поливинилхлорид, епоксид, па чак и политетрафлуороетилен. Може очистити и целу површину и одређене области, као и сложене структуре.