Структура машине за нагризање плазмом

ИЦП опрема се углавном састоји од четири дела: пред-вакумске коморе, коморе за нагризање, система за снабдевање гасом и вакуумског система.

(1) Пред-вакумска комора

Функција пред-вакумске коморе је да обезбеди да се комора за нагризање одржава на подешеном нивоу вакуума, да на њу не утиче спољашње окружење (као што су прашина, водена пара) и да изолује опасне гасове из чисте просторије. Састоји се од поклопца, манипулатора, механизма преноса, изолационих врата итд.

(2) Комора за нагризање

Комора за гравирање је основна структура ИЦП опреме за гравирање. Има директан утицај на брзину нагризања, вертикалност нагризања и храпавост. Главне компоненте коморе за нагризање су: горња електрода, ИЦП радиофреквентна јединица, РФ радиофреквентна јединица, систем доњих електрода, систем за контролу температуре итд.

(3) Систем снабдевања гасом

Систем за снабдевање гасом треба да испоручује различите гасове за нагризање у комору за нагризање и прецизно контролише проток гаса и проток кроз регулатор притиска (ПЦ) и контролер протока масе (МФЦ). Систем за снабдевање гасом се састоји од боце извора гаса, цевовода за довод гаса, контролног система, јединице за мешање итд.

(4) Вакуумски систем
Постоје два вакуумска система, један за пред{0}}вакумску комору и други за комору за нагризање. Пред-вакумска комора се евакуише помоћу механичке пумпе. Тек када ниво вакуума у ​​пред-вакум комори достигне задату вредност, могу се отворити изолациона врата да би се пренела плочица. Вакуум у комори за нагризање обезбеђују механичка пумпа и молекуларна пумпа. Гасови који настају реакцијом у комори за нагризање се такође евакуишу помоћу вакуум система.